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潔淨室的測試及驗收標準

控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段,還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議(16)中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。

在潔淨室內,按其用途的不同應控製下列參數:
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性(對單向氣流而言)
4、風量和換氣次數
5、最終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度

測試狀態的確定:根據設計要求,一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測,一般不做動態檢測,如需動態檢測,需要製定或參照其他標準。

空氣粒子濃度的檢測

潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度(每1m3空氣中的粒子數)。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定,根據該標準的規定,潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時,應對粒徑≥閥值的粒子進行統計,下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。

所列為整數級別序數N和最常見值D的粒子最大允許濃度
ISON級 粒子最大允許濃度Cn顆m3,粒徑≥下列值,微米
0.1 0.2 0.3 0.5 1.0 5.0
ISO 1級 10 2 - - - -
ISO 2級 100 24 10 4 - -
ISO 3級 1000 237 102 35 8 -
ISO 4級 10000 2370 1020 352 83 -
ISO 5級 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO 6級 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO 7級 - 352000 83200 2930
ISO 8級 - 3520000 832000 29300
ISO 9級 - 8320000 293000

備注:濃度值Cn應四舍五入,小數點後保留三位,在實際情況下粒子濃度的實際誤差是存在的,求不出精度很高的濃度。

潔淨度級別表示實例

ISO 4級;靜態;給定粒徑0.5微米(352粒子/m3)。
ISO 5級;靜態;給定粒徑0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。
因此,在測試具體的潔淨室的相應潔淨度級別時,不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而隻要檢測為該種潔淨室給定的粒子粒徑。
測定潔淨度級別的方法
在檢測潔淨室的潔淨度級別時,應測定潔淨室內1點或數點的懸浮粒子濃度(即取樣點的粒子濃度)。

因此必須滿足下列要求

1)確認潔淨室的狀態與給定的相符;
2)確定給定粒徑,潔淨室取樣點的數量和位置;
3)確定每一取樣點的取樣數量;
4)確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上,每1次取樣的取樣量和取樣時間;
5)取樣之後應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計;
6)將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內(適於采用無計算機軟件的粒子計數器的場合下);
7)整理取得的數據;
8)對結果進行分析;
9)整理方案確定級別應符合上表要求。

氣流的檢測

在潔淨室中的氣流:
氣流風速(通常是控製單向氣流的風速)
氣流均勻性(單向氣流風速穩定性)並目視檢查氣流。
空氣(單向氣流)的風速和風量
空氣單向氣流的風速是在垂直於氣流方向的平麵上並距離風源150-500mm處測得的。
測試點的數量應大於被測表麵麵積的平方根,但不得小於3,應在每一個設定的網格中進行測量,測量點應均勻地分布在平麵上。
應在距離過濾器表麵150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時,應在距離過濾器表麵300mm以上處測試風速。
每1點的測量時間不得少於10秒。並且要確定平均值,最大和最小值。

氣流的均勻性

根據在垂直於空氣運動方向的平麵上各點的風速測試數據,評價單向氣流的均勻性,建議該平麵應距離過濾器表麵(風口)300毫米以上。
平麵上各點處的風速相差不得超過20%-30%。

檢驗過濾器的整體性

最終過濾器(HEPA,ULPA過濾器)是潔淨室的重要部分。這些過濾器安設在潔淨室的吊頂和牆上,裝在設備和風管內。應進行泄漏檢查,以控製過濾器的整體性,過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏,會超過ГOCTP5125-99。
製造商應在廠內對過濾器作最大穿透粒徑試驗,附過濾器檢測報告,現場不做檢漏。

溫度的檢測

在潔淨室內采用兩種方法控製溫度:
 一般控製
 特殊控製
 (一般控製)在通風空調係統投產-調試時,以及在潔淨室檢測的各個階段和使用階段均要進

行溫度的一般控製。

(一般控製)在通風空調係統投產-調試時,以及在潔淨室檢測的各個階段和使用階段均要進

行溫度的一般控製。

規定工作席工作區高度處的溫度,以及必要時,其他工作點的溫度都要加以控製。

在1小時或更多一些的時間內應周期性的連續測試6分鍾。

相對濕度的控製

待通風空調係統工作穩定後,相對濕度的控製可與溫度的測量同時進行。

至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量,為了使傳感器持續穩

定,測量的持續時間不得少於6分鍾。

潔淨實驗室技術指標



序號

房間名稱

麵積

潔淨度

對外

壓差

溫度

濕度

照度

新風

排風

M2

Pa

%RH

Lux

%

1

萬級鑒定室1

23

7(萬)

+20

20-26

40-70

300

30

2

萬級鑒定室2

16

7(萬)

+20

20-26

40-70

300

30

3

萬級鑒定室3

10.3

7(萬)

+20

20-26

40-70

300

30

4

緩衝間

6

7(萬)

+15

20-26

40-70

200

30

5

準備間

2.6

0

20-26

40-70

200

30

(2)百級、千級實驗室

1

百級實驗室2

15.00

5(百)

+20

20-26

40-70

300

30

2

百級實驗室1

6.10

5(百)

+20

20-26

40-70

300

30

3

千級實驗室2

18.20

6(千)

+15

20-26

40-70

300

30

4

千級實驗室1

15.70

6(千)

+15

20-26

40-70

300

30

5

千級潔淨

走   廊

11.40

6(千)

+10

20-26

40-70

250

30

6

千級潔淨

準備間

 

7(萬)

+10

20-26

40-70

250

30

6

更衣間

10.40

7(萬)

+10

20-26

 

200

30

格式1(式樣)

記錄書

      工段,        潔淨室取樣                                             

取樣時期                                                                   

房間狀態                                                                   

(空態、靜態、動態)

給定潔淨度級別                                                          

給定閥徑粒徑,微米                                                  

粒子的最大允許濃度,粒子/m3                                                

取樣量,升                                                                 

取樣時間,分鍾                                                             

取樣點數量r                                                                

1取樣點上的取樣次數,P                                                     

粒子計數器                                           


取樣點位置示意圖

3

5

4       

取樣點編號

1m3空氣中的粒子數或濃度,其粒徑為

≥0.5

≥5.0

1

 

 

2

 

 

3

 

 

4

 

 

5

 

 

取樣者                                      

                 (簽字)                     


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